Alıntı:Dim FilePath As String = "C:\Deneme.xlsx" burdaki dosyayı değilde yeniden bir dosya oluştursun

Net bir bilgi vermemişsiniz. Yeni bir dosya derken her defasında farklı bir dosyamı oluşturulacak?

Eğer bu şekilde istiyorsanız Deneme ismi yerine tarih-saat şeklinde bir isim verirsiniz DateTime kullanarak.

İsim aynı ancak her Excel'e göndermede önceki içerik mi silinecek?

Bu şekilde istiyorsanız File.Delete ile öncekini silebilirsiniz.